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深紫外LED用超高温MOVPE装置と 結晶欠陥観察のための新顕微鏡開発
永松 謙太郎[准教授]
次世代光研究部門（専任教員）
2010年名城大学大学院理工学研究科博士後期課程修了。博士(工学)。
パナソニック（株）半導体デバイス研究センター、名古屋大学工学研究科研究員、三重大学地域戦略センター特任助教を経て、2019年4月より現職。
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- 深紫外
- 赤外
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研究概要
深紫外LEDは殺菌効果が高いことから多くの分野への応用が期待されている。しかし、現状のLEDでは発光層での光と熱に変わる割合が50％ずつになっており、LEDの寿命が短い。
私の研究では、これまでMOVPE成長(青色LEDの作製手法)では不可能とされていた超高温(>2000℃)の成長温度を実現するような新構造MOVPEを作製する。また、熱に変換される原因である貫通転位(結晶欠陥)の同定と可視化を実現する新顕微鏡を作製し、深紫外LED用半導体での評価手法を確立する。この2つの発明によって超高品質なAlNを作製するとともに結晶欠陥を制御する。結果として、長寿命な深紫外LEDを作製し応用分野拡大を目指す。
応用分野という観点では、農業、林業、水産業それぞれで公設試と協力し深紫外LEDの利用方法を模索する。特に小型であることをメリットとした利用方法の確立や将来作製可能となる長寿命深紫外LEDの応用分野を確立する。
